121248, Москва,
Кутузовский проспект,
д. 9, корп. 2а, офис 77

+7 (499) 243-66-26
Аналитическое, лабораторное,
испытательное и технологическое
оборудование

ToF SIMS

Времяпролетная вторичная ионная масс-спектрометрии (TOF-SIMS) представляет собой методику исследования поверхностей с  чрезвычайно высокой точностью и чувствительностью. Её применение в различных областях научных и промышленных исследований является устоявшейся практикой. Использование данной методики позволяет получать детальную информацию об элементном и молекулярном строении поверхностей, приповерхностных тонких слоях, контактах материалов различных типов, осуществлять комплексный трехмерный анализ образцов. Данная технология широко применяется при производстве полупроводниковых приборов, полимеров, лакокрасочных изделий, покрытий, стекла, бумаги, металлов, керамики, биоматериалов и фармацевтических изделий.

Перейти к описанию метода ...
ToF SIMS 5

ToF SIMS 5

Технические характеристики

  • Массовое разрешение 16.000 (m/dM)
  • Массовый диапазон 1-10000 а.е.м.
  • Высокое пространственное разрешение (<60 нм)
  • Быстрая съемка изображения (частота до 50 кГц)
  • Поле измерений он мкм2 до см2
  • Глубинное разрешение менее 1 нм.
  • Высокое массовое разрешение.
  • Скорость травления до 10 мкм/ч
  • Идеально подходит для изоляторов.


Применеиние
TOF.SIMS 5 – это пятое поколение высокотехнологических систем TOF-SIMS, разработка которых осуществляется на протяжении последних двадцати лет. TOF.SIMS 5 предоставляет детальную информацию об элементном и молекулярном составе поверхности и приповерхностных тонких слоях образца. Прибор и метод широко применяются при производстве полупроводниковых приборов, полимеров, лакокрасочных изделий, покрытий, стекла, бумаги, металлов, керамики, биоматериалов и фармацевтических изделий.