Ионно-лучевое травление и осаждение
Системы ионного травления и нанесения. В линейку включены две системы: Ionfab300Plus и Ionfab500.
Ionfab300Plus представляет собой универсальную ионную систему широкого применения.
Ionfab500 специально создавалась для нанесения высококачественных покрытий в оптике.
Optofab®3000
Система Optofab3000, разработанная специально для высококачественных оптических приложений, включая производство высокоотражающих и противоотражающих покрытий, основана на испытанной архитектуре системы Ionfab300Plus и имеет те же особенности и преимущества, что и Ionfab300Plus, с добавлением новых возможностей.
IonFab®500Plus
Система Ionfab500 предназначена для промышленного нанесения оптических покрытий высочайшего качества. Покрытия, наносимые с применением Ionfab500, обладают уникальной чистотой, однородностью и ровностью поверхности.
• сверхчистые пленки (рекорд 1.6 ppm, гарантировано 30 ppm)
• до 300 слоев TiO2/ SiO2 в полностью автоматизированном режиме
• RF ионный источник:15 cm, 13 MHz
• PBN (НПМ) без термокатода
• 14" держатель мишени
• планетарное вращение подложек (4 x 10")
• инфракрасный нагреватель
• кварцевый датчик толщины
• PC 2000 управление
Ionfab 300Plus
Модульная ионно-лучевая система Ionfab300Plus создана для проведения ионно-лучевых процессов нанесения и травления. Данная система находит применение в широком спектре приложений, в частности в микроэлектронике и при нанесении покрытий в оптике.