Травление и нанесение (RIE/ICP/PECVD)
Компания Oxford Instruments производит и поставляет исследовательское и промышленное оборудование для решения задач микроэлектроники. В частности, существует ряд систем для проведения процессов плазменного осаждения и травления слоев различных материалов:
Plasmalab®800Plus
Plasmalab®800Plus – компактная система с открытой загрузкой для решения задач опытно-конструкторских разработок и мелкосерийного производства.
Компактные системы с открытой загрузкой для проведения процессов плазменного травления и осаждения в опытно-конструкторских разработках и мелкосерийном производстве.
Установки позволяют проводить процессы:
• реактивно-ионного травления в катодной и индуктивно-связанной плазме (RIE (РИТ), ICP-RIE (ИСП-РИТ));
• плазмохимического травления (PE (ПХТ));
• плазменно-стимулированное осаждение (PECVD).
Компания Oxford Instruments предоставляет пожизненную гарантию, обучение персонала и техническую поддержку.
Plasmalab System 100
PlasmalabSystem100 – система позволяющая решить широкий круг задач в области составных полупроводников, оптоэлектроники, фотоники, микромеханики (MEMS) и микропневматики.
Plasmalab System133
Plasmalab®System133 – система для проведения процессов плазменного травления и осаждения на пластинах диаметром 300 мм и крупных партиях пластин меньшего диаметра.
Plasmalab 80Plus
Plasmalab®80Plus – компактная система с открытой загрузкой для решения задач опытно-конструкторских разработок и мелкосерийного производства.
Компактные системы с открытой загрузкой для проведения процессов плазменного травления и осаждения в опытно-конструкторских разработках и мелкосерийном производстве.
Установки позволяют проводить процессы:
• реактивно-ионного травления в катодной и индуктивно-связанной плазме (RIE (РИТ), ICP-RIE (ИСП-РИТ));
• плазмохимического травления (PE (ПХТ));
• плазменно-стимулированное осаждение (PECVD).
Компания Oxford Instruments предоставляет пожизненную гарантию, обучение персонала и техническую поддержку.
PlasmaPro NGP80
PlasmaPro NGP80 - компактная система с открытой загрузкой для реализации процессов плазменного напыления и травления на одной платформе.
Система идеально подходит для научно-исследовательских целей и мелкосерийного производства.
PlasmaPro NGP80 имеет небольшие размеры основания, проста в установке и использовании.
PlasmaPro NGP 1000
PlasmaPro NGP1000 - отличное решение для серийного производства в индустрии сверхяркий светодиодов.
Основные преимущества PlasmaPro NPG1000:
- 490 мм электрод позволяет достигнуть уникальной производительности: одновременная обработка до 7 подложек диаметром 150 мм;
- высокое качество продукции;
- надежность и простое обслуживание оборудования;
- низкая стоимость обслуживания;
- оптимален для серийного производства, имеет шлюзовую камеру с
открытой загрузкой;
- минимизированы затраты на очистку.