Системы и процессы выращивания наноразмерных струк
Системы Nanofab700 и Nanofab800Agile позволяют выращивать нанотрубки и нанопровода с высокой скоростью роста и полностью контролировать процесс роста. Наноструктуры выращиваются в местах каталитической активации. Основные достоинства данных систем обусловлены использованием нетеплоемких материалов устойчивых к температурным стрессам, что позволяет обеспечивать высокие пропускаемые мощности. Скорости нагревания подложкодержателя достигают 130 °С/мин. Столь высокий показатель достигнут благодаря использованию специально сконструированной PBN платы нагревателя, в то время как использование керамического нагревателя ограничивает скорость нагревания до значения около 15 °С/мин.
Nanofab800Agile
• настраиваемый процесс безкислородного выращивания нанопровода и нанотрубок с температурой процесса до 800 °С;
• система быстрого нагрева и охлаждения для термоциклирования в процессе роста;
• дополнительная система жидкостного нанесения меток роста;
• плазменная подготовка катализатора;
• проведение процесса PECVD;
• наличие загрузочного шлюза.
Nanofab700
• настраиваемый процесс выращивания нанопровода и нанотрубок с температурой процесса до 650 °С;
• дополнительная система жидкостного нанесения меток роста;
• плазменная подготовка катализатора;
• проведение процесса PECVD;
• наличие загрузочного шлюза.